PRODUCT FEATURES AND ADVANTAGES
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产品特点及优势
· 低温下更高生长速率；
· 降低的加工温度；
· 减少冲洗步骤；
· 凝聚延迟减少；
· 减少薄膜杂质；
· 新材料/替代前体；
CONFIGURATION PLAN
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配置方案
| 埃维拓ATPE100等离子体增强原子层沉积设备 | ||
| 序号 | 名称 | 技术参数 |
| 1 | 外形尺寸 | 钣金喷漆（可选配304不锈钢） 尺寸：720*700*1200 mm |
| 2 | 反应腔体 | 单腔反应腔（可选配双腔） |
| 3 | 等离子体 | 最大600W射频（RF）自匹配电源，高性能远程感应耦合等离子体（ICP）源（可选配微波等离子发生） |
| 4 | 衬底规格 | 4寸（可选配6 -12 英寸） |
| 5 | Angtouer 加热系统 | 400℃基板加热、300 ℃工艺腔室、250 ℃输送管线、200 ℃阀门加热、200 ℃前驱体加热，控制精度±1℃ |
| 6 | ALD阀门 | ALD专用超长寿命、高速驱动原子层沉积隔膜阀 |
| 7 | 前驱体输运系统 | 标准2路前驱体管路（可选配6路以上） |
| 8 | 载气系统 | N₂或者Ar，质量流量控制器 |
| 9 | 真空系统 | 极限真空＜5×10 -3Torr，真空漏率＜5×10 -7PaL/s |
| 10 | 沉积模式 | 连续模式、停流模式 |
| 11 | 控制系统 | 19寸显示器，工业级嵌入式工控机+PLC 设备支持“一键沉积”功能，支持历史数据、工艺配方、报警及日志的储存和导入导出的功能 |
| 12 | 安全保护 | 软件安全联锁/门联锁装置/紧急断电（EMO） |
| 13 | 选配 | 臭氧发生器/ QCM/尾气处理装置/热化学或等离子体增强原子层沉积（PEALD） 可切换 |
SUPPLY AND AFTER-SALES SERVICE DESCRIPTION
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供货及售后服务说明
1.供货时间
2.质保时间
3.售后服务维修
地址
苏州市昆山市千灯镇景唐南路399号
电话
13355351666
邮箱
angtour@163.com
COOPERATION CONSULTATION
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